MEMS简介

MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) 是一种将微型机械装置与电子元件集成在一起的系统，广泛应用于各类高科技领域，如汽车、消费电子、医疗设备、航空航天等。MEMS器件的特点在于其微小的尺寸、集成化的结构和高精度性能，能够执行检测、驱动、控制等多种功能。

MEMS封装的必要性

由于MEMS器件工作在微米级别，封装对于保护和增强器件性能至关重要。封装的主要作用包括：

环境保护：防止湿气、灰尘等外界因素对MEMS器件的侵蚀。

机械支撑：为敏感的微机械结构提供机械支撑，避免在运输或使用过程中受力损坏。

电气隔离：确保电气元件之间的绝缘，避免短路或信号干扰。

热管理：改善器件的散热性能，保持工作温度的稳定。

可靠性提升：通过封装来提高MEMS器件在极端条件下的可靠性，如高温、低温等环境。

拜高高材的MEMS封装解决方案

拜高高材为MEMS提供了全面的封装解决方案，涵盖晶元件粘接固定、芯片灌封与涂覆、以及盖板密封，确保器件的高可靠性和性能。

1、 晶元件粘接与固定

在MEMS的生产过程中，晶元件的粘接与固定是关键步骤，选择合适的粘接剂能够有效提升结构强度和耐环境性能。针对晶元件的粘接与固定，推荐使用以下产品：

SIPA 3003：适用于晶圆级别的粘接，具有优异的机械强度和耐久性，能够保证MEMS器件在长期使用中的可靠性。

EP 1761：这款环氧树脂粘接剂提供出色的粘接强度和环境耐受性，适合在高温和极端环境中应用。

SIPA 1820：具有快速固化特性，并能有效适应微小结构的变化，确保粘接后的稳定性和耐用性。

2、 芯片灌封与涂覆

在MEMS封装中，芯片灌封和涂覆能够为敏感器件提供额外的保护，防止环境中的湿气、化学物质以及机械损伤。推荐使用以下产品：

SIPA 3000：一种低粘度、易流动的灌封材料，适用于需要精密保护的MEMS芯片，能够形成均匀的保护层。

SIGEL 1806：该涂覆材料具有良好的绝缘性能和化学耐受性，适用于需要防护的电子元件涂覆。

SIGEL 3006：适用于高精度电子封装的涂层材料，能够确保芯片在恶劣环境中的长期稳定性。

3、盖板密封

盖板密封是MEMS封装的最后一步，密封材料的选择至关重要，它不仅需要具备良好的密封性能，还需在物理和化学特性上与其他封装材料相容。推荐使用以下产品：

SIPA 1820：用于MEMS器件的盖板密封，能够快速固化，确保密封后的结构稳定性，同时提高整体封装的耐久性。

EP 1761：具有出色的密封性能，适用于高温和严苛环境下的长期使用，确保MEMS封装后的可靠性。

实用案例：

mems压差传感器封装用胶方案

MEMS封装的关键在于选择合适的粘接、灌封、涂覆和密封材料。拜高高材提供了一系列针对MEMS的封装解决方案，满足晶元件粘接、芯片保护和盖板密封的多样需求。通过使用SIPA 3003、EP 1761、SIPA 1820等产品，能够有效提升MEMS器件的环境适应性和长期稳定性，为不同应用场景提供可靠的支持。